内容概要:涂胶显影设备(Track)是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、显影及烘烤设备。国内涂胶显影设备企业在核心零部件,对国外供应商的依赖程度较高。近几年,国内涂胶显影设备生产企业在技术上取得进展,涂胶显影设备产值快速增长,从2017年的1.65亿元增长到了2024年的18.26亿元,预计2025年涂胶显影设备产值有望增长至21.6亿元。作为光刻机的“重要搭档”,涂胶显影设备应用领域广阔,现已广泛应用于集成电路等先进制造领域。2024年我国涂胶显影设备市场需求量从2017年的371台套增长到1775台套,市场规模从2017年的20.05亿元增长到125.9亿元;预计2025年我国涂胶显影设备市场需求量将达到2025台套,市场规模将达到143.74亿元。随着消费者对半导体和液晶显示器等电子产品需求的不断增加,为涂胶显影设备行业带来了广阔的市场空间。
上市企业:芯源微(688037)、盛美上海(688082)
相关企业:苏州桔云科技有限公司、迈睿捷(南京)半导体科技有限公司、中国台湾亿力鑫(ELS)、日本东京电子、日本迪恩士、德国苏斯微、中国台湾亿力鑫、韩国CND等
关键词:涂胶显影设备市场规模、涂胶显影设备市场竞争格局、涂胶显影设备产业链、涂胶显影设备代表企业、涂胶显影设备产量、涂胶显影设备需求量、涂胶显影设备行业发展前景
一、涂胶显影设备行业定义及分类
涂胶显影设备(Track)是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、显影及烘烤设备,包括涂胶机(又称涂布机、匀胶机)、喷胶机(适用于不规则表面晶圆的光刻胶涂覆)和显影机。按设备类型可以分为涂胶机、喷胶机、显影机;按应用环节可以分为前道设备、后道设备;按技术节点可以分为KrF及以下节点类、ArF类、其他先进节点类。
二、涂胶显影设备行业发展现状
国内涂胶显影设备企业在核心零部件,如高端传感器、精密机械部件等方面,对国外供应商的依赖程度较高。近几年,国内涂胶显影设备生产企业在技术上取得进展,涂胶显影设备产值快速增长,从2017年的1.65亿元增长到了2024年的18.26亿元,预计2025年涂胶显影设备产值有望增长至21.6亿元。
作为光刻机的“重要搭档”,涂胶显影设备应用领域广阔,现已广泛应用于集成电路、OLED、LED、化合物半导体&功率器件等先进制造领域。2024年我国涂胶显影设备市场需求量从2017年的371台套增长到1775台套,市场规模从2017年的20.05亿元增长到125.9亿元;预计2025年我国涂胶显影设备市场需求量将达到2025台套,市场规模将达到143.74亿元。
相关报告:智研咨询发布的《中国涂胶显影设备行业市场发展态势及产业前景研判报告》
三、涂胶显影设备行业产业链
1、涂胶显影设备行业产业链结构
涂胶显影设备行业产业链上游包括传感器、有色金属、电子元件、过滤器、仪器仪表及其他等原材料;行业中游为涂胶显影设备生产制造;行业下游主要应用于半导体领域,既用于半导体晶圆制造(光刻环节),也用于半导体封测(涂胶、显影环节)、OLED制造(光刻环节)。
2、涂胶显影设备行业产业链上游-有色金属
有色金属作为设备制造业的重要原材料,其市场需求与设备更新周期紧密相连。2024年,我国有色金属行业实现销售收入86019.1亿元,较2023年增长10433.2亿元,利润总额为3320.9亿元,较2023年增长390.4亿元。预计2025年,受全球经济逐步恢复和新兴产业增长拉动影响,我国有色金属行业有望延续良好运行态势。
3、涂胶显影设备行业产业链下游-半导体
涂胶显影设备是在半导体光刻工序中和光刻机配套使用的机器,主要起到涂胶、烘烤和显影的作用。作为光刻机的“重要搭档”,涂胶显影设备广泛应用于集成电路、OLED、LED、化合物半导体&功率器件等先进制造领域。半导体涂胶显影设备是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备,它的性能和质量对于半导体产品的制造和性能具有重要影响。
半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业,其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。作为“工业粮食”,半导体芯片被广泛地应用于计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子、物联网等产业,是绝大多数电子设备的核心组成部分。2023年我国半导体产业市场规模从2015年的26385.73亿元增长至46875.97亿元。
四、涂胶显影设备行业竞争格局
1、主要企业
半导体设备行业具有高度技术密集、资本密集和寡头垄断的特征。涂胶显影设备作为前道核心设备之一,与光刻机联机作业,技术复杂度极高,长期以来被日本东京电子(TEL)垄断。国内厂商起步相对较晚,技术积累不足,但在国产替代政策的推动以及下游晶圆厂扩产需求的刺激下,国内企业积极投入研发,努力突破技术瓶颈,逐步在市场中崭露头角,市场份额也在逐步提高。
目前,国内涂胶显影设备主要企业包括沈阳芯源微电子设备股份有限公司、盛美半导体设备(上海)股份有限公司、苏州桔云科技有限公司、迈睿捷(南京)半导体科技有限公司、中国台湾亿力鑫(ELS)等。
2、代表企业
1)、沈阳芯源微电子设备股份有限公司
芯源微电子主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,产品主要包括光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备,是国内涂胶显影、单片式湿法设备龙头,是国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商。目前芯源微电子已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸没式等多种型号涂胶显影设备,已陆续获得多个前道大客户订单及应用,下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商。据统计,2023年,芯源微电子涂胶显影设备产量171台套,销量225台套,实现业务收入106603.5万元。
2)、日本东京电子
日本东京电子是日本最大的半导体设备制造商。TEL主营业务包含半导体生产设备(SPE)和平板显示制造设备(FPD),FY24SPE收入占比在95%以上。SPE产品包括涂胶显影设备、热处理设备、干法刻蚀设备、薄膜沉积设备(管式CVD、非管式LPCVD、PVD、ALD)、湿法清洗设备、测试设备等,几乎覆盖了半导体制造的全部流程;FPD产品主要是涂胶显影设备和等离子刻蚀/灰化设备。据统计,2024财年,日本东京电子营业收入为1830527百万日元,毛利830270百万日元,收入、毛利较2023年同期下滑明显。
五、涂胶显影设备行业发展趋势
涂胶显影设备作为半导体制造工艺中的关键设备,其市场需求随着半导体产业的蓬勃发展而持续增长。随着国内涂胶显影设备企业在技术研发、产品质量和市场份额方面取得了显著进展,国产替代步伐的加快,国内企业有望打破国外厂商的垄断地位。
半导体智能制造的推进使得涂胶显影设备不断向智能化方向发展。随着国内企业技术水平的提升和市场份额的逐步扩大,国产涂胶显影设备的供给能力将不断增强。同时,智能制造和工业互联网技术的深入应用也将加速显影设备行业的智能化和自动化升级,提高生产效率和质量稳定性。这些因素将有助于提升国产涂胶显影设备的供给能力和市场竞争力。
全球经济的逐步复苏和科技产业的快速发展为涂胶显影设备行业提供了稳定且持续增长的市场需求。随着消费者对半导体和液晶显示器等电子产品需求的不断增加,这些产品的制造企业对涂胶显影设备的需求也将随之上升。这不仅为涂胶显影设备行业带来了广阔的市场空间。
以上数据及信息可参考智研咨询(www.chyxx.com)发布的《中国涂胶显影设备行业市场发展态势及产业前景研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构,提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号,每天及时掌握更多行业动态。


2025-2031年中国涂胶显影设备行业市场发展态势及产业前景研判报告
《2025-2031年中国涂胶显影设备行业市场发展态势及产业前景研判报告 》共十二章,包含涂胶显影设备行业投资与趋势预测分析,涂胶显影设备行业发展预测分析,涂胶显影设备企业管理策略建议等内容。



