兆声波清洗机

2023年中国兆声波清洗机行业发展概况：应用领域逐步拓宽，芯片工艺进步带动行业量价齐升[图]

兆声波清洗机是以高频振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗为原理的清洗设备。兆声波清洗工艺是一种以超声波清洗为基础而研发的新兴半导体清洗技术，和传统的超声波清洗原理类似，不过其使用的声波频率高达500kHz-499GHz，这样既保存了原有超声波清洗的技术优势，又对超声波清洗的技术劣势加以改善。