刻蚀机

刻蚀机-产业百科

刻蚀机是一种用于制造微细结构的设备，常见于半导体、光学和电子工业中。刻蚀机通过将化学反应物和物理能量相结合，去除材料表面的一部分，从而创建所需的微细结构。刻蚀机主要分为湿法刻蚀机和干法刻蚀机，其中，湿法刻蚀机分为化学刻蚀机和电解刻蚀机；干法刻蚀机分为离子铣刻蚀机、等离子刻蚀机和反应离子刻蚀机。目前中国刻蚀机的国产化率正在逐步提高。虽然总体核心半导体产业设备国产化率不足10%，但是刻蚀机领域的国产化率约为20%。刻蚀机是我国最具优势的半导体设备领域，也是国产替代占比最高的重要半导体设备之一。不断发生的半导体贸易限制事件，让刻蚀机等半导体设备的战略重要性凸显，未来刻蚀机的国产替代有望加快。