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MEMS传感器

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2025年中国MEMS传感器行业产业链、市场规模、重点企业及未来趋势研判:MEMS传感器工艺逐渐成熟,国产替代前景广阔[图]

MEMS传感器是基于微机电系统的典型传感器件。它是指可以批量制造的,集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路于一体的器件或系统。其特征尺寸一般在0.1m~100m范围。MEMS集成了当今科学技术的许多尖端成果,它将感知信息处理与执行机构相结合,改变了人类感知和控制外部世界的方式。与传统的机械传感器相比,MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。在微米量级的特征尺寸MEMS传感器可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

智研观点 2024-11-27

2022年中国MEMS传感器行业产业链情况分析:行业规模持续扩张[图]

一般来讲,大部分MEMS压力传感器的敏感元件是硅膜片,按照不同的敏感机理,MEMS压力传感器可以分为电容式压力传感器、压阻式压力传感器以及谐振式压力传感器。目前汽车上的压力传感器有很多:歧管压力测量,用来控制空燃比,控制废弃循环等;大气压测量,用来修正空燃比;气缸内气测量,用来控制爆震;燃油喷射压力测量;充气压力测量,

智研观点 2023-03-04
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